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        FilmTek 4500反射透射膜厚測量儀

        簡要描述:Filmtek 4500反射和透射膜厚測量儀利用新的多角度差分極化測量(MADP)技術與SCI patented的差分功率譜密度(DPDS)技術相結合,提供了一種在工業中具有佳的分辨率、準確度和可重復性的光學薄膜計量工具。通過提供更高的精度和準確度,FilmTek 4500使后期集成電路生產過程中的薄膜過程控制更加嚴格,從而提高了整個器件的產量。

        • 產品型號:
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2019-02-03
        • 訪  問  量:696

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        Measurement Features

        FilmTek™

        4000 / 4500

        Index of Refraction折射率
        (at 2µm thickness)

        ±0.00002

        Thickness Measurement Range

        膜厚范圍

        3nm-350µm

        Maximum Spectral Range (nm)

        大光譜范圍

        190-1700nm

        Standard Spectral Range (nm)

        標準光譜范圍

        380-1000nm

        Reflection

        反射

        Yes

        Transmission

        透射

         Yes(4500)

        Spectroscopic Ellipsometry

        橢圓光譜技術

        No 

        Power Spectra Density

        功率譜密度

        Yes

        Multi-angle Measurements

        多角度測量(DPSD)

        Yes

        TE & TM Components of Index

        TETM成分指數

        Yes

        Multi-layer thickness

        多層厚度

        Yes

        Index of Refraction

        折射率

        Yes

        Extinction (absorption) Coefficient

        消光(吸收)系數

        Yes

        Energy band gap

        能帶隙

        Yes

        Composition

        組成

        Yes

        Crystallinity

        結晶度

        Yes

        Inhomogeneous Layers

        非均勻層

        Yes

        Surface Roughness

        表面粗糙度

        Yes

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